光学ウェーハ処理ヒーター

ライン上では、300mmウェーハがソフトベイクを待っている。これはフォトレジストのプロファイルを固定する工程だ。わずか2℃のずれが、重要寸法を崩し、全ロットの廃棄につながる。これを防ぐために、当社は光学ウェーハ処理用ヒーターを設計した。 実際に重要なのは以下の点である。 本装置は、石英強化チャンバ...