AFMのステージ温度の変動は、単純に測定ノイズとして現れます。わずか0.5度の変動だけで、エッジの位置が正確に把握できなくなったり、フォトレジストのプロファイルが乱れたり、良品が再処理を余儀なくされたりします。私たちは、AFMホットエレメントを設計し、プローブとサンプルを所定の温度に保つようにしま...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークがわずかにずれるだけで、ライン上で目に見える前に歩留まりを大きく損なう可能性があります。パワーデバイス用ウェハでは、熱予算が厳しいため、加熱ランプはサイクルごと、ロットごとにまったく同じ温度に到達させる必要があります。温度変動も予期せぬ事態も許されません。...