ウェハーツール用赤外線ランプソケット

ウェハフロア上でのフォトレジストのプレベークやウェハ乾燥中の熱ドリフトは、単なるライン速度の低下にとどまりません。ウェハ上に欠陥をもたらし、それは容認できないものです。 ウェハ装置用の赤外線ランプソケットは一つの目的に特化して設計されています。プロセス温度を安定的かつ再現性よく、フィルムの熱予算内...