ウェーハ加熱の安全距離

適切な間隔の設定：ウェーハ加熱における赤外線ヒーターの利用 スマートな製造ラインを構築する場合、古式の熱質加熱ではもはや十分ではないことがわかっているでしょう。速度が遅すぎるからです。そのため、高強度の赤外線システムを使用します。これにより、温度を素早く上げ下げできるので、デジタル化された生産ライ...