一つのランプが壊れるだけで、全てのウェーハが台無しになってしまうのを防ごう 忙しい製造現場では、ランプが壊れるというのは単なる面倒事や短時間の停止に過ぎないわけではありません。それはまさに悪夢です。 例えば、乾燥工程の最中に石英管が破裂したと想像してみてください。ガラスの破片や金属のフィラメントが...

空気を加熱するのはやめよう：MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェーハを乾燥させる際の苦労がどれほど大変かご存知でしょう。これはバランスを取る必要がある作業です。ウェーハを完全に乾燥させ、残留物を残さないようにしたいけれど、単純に熱を当ててし...

ウェーハがリソグラフィーを通過すると、パッケージングラインのダイアタッチ工程へ進む。そこへの引き渡し前に、表面上のあらゆる水分を除去する必要がある。残留すると、アンダーフィル内のボイド、ボンド界面でのデラミネーション、あるいはインライン検査で検出されない潜在的な信頼性低下のリスクを負うことになる。...