なぜシャワー室には耐爆性のあるクォーツを使う必要があるのか？ シャワー室に赤外線ヒーターを設置するというのは、まるで雨の中に電子機器を置くようなものです。とても過酷な環境です。急激な温度変化や絶え間ない湿気が部品に影響を与えます。 問題は、普通のクォーツ管を使った場合、熱くなったランプに水滴が当た...

適切な間隔の設定：ウェーハ加熱における赤外線ヒーターの利用 スマートな製造ラインを構築する場合、古式の熱質加熱ではもはや十分ではないことがわかっているでしょう。速度が遅すぎるからです。そのため、高強度の赤外線システムを使用します。これにより、温度を素早く上げ下げできるので、デジタル化された生産ライ...