クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームを運用する際には、「ほぼ清潔」というだけでは不十分です。わずかなほこりや、ヒーターから発生するガスでさえも、半導体ウエハーや医療用インプラントを数秒以内に破壊してしまう可能性があります。これは本当に深刻な問題で...

ファブフロアでのフォトレジスト焼成はウォームアップではない。それはライン幅制御のゲートキーパーである。ウェーハ全体に2℃のドリフトが現れると、重要寸法が変化してしまう。中波クォーツヒーター管は、そのドリフトが始まる前にそれを止めるように設計されている。 技術的に重要なこと 中波クォーツは、フォトレ...