FOUP フロントオープニング・ユニファイド・ポッド ドライヤー

リソグラフィーの工程では、FOUPは前回のクリーニング時に残った薄い水分をまだ含んだ状態で搬送されます。もしソフトベイクの過程で温度が安定しなくなると、フォトレジストの厚みが変化し、露光が始まる前から寸法制御が難しくなります。そのため、水分を除去し、温度を再現性良く維持できるFOUP用ドライヤーが...