ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ認証済みの赤外線ランプが重要なのか 正直言って、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費します。特に、ウェーハを適切な温度にするための硬化や焼成工程ではその傾向が顕著です。もしまだ古い方式の対流式オーブンを使っているなら、数枚のウェーハを適切な温度にするために、大量の...

実際に重要な場所により多くの熱を与える：ウェーハの硬化処理 もしウェーハの硬化処理ラインを運営しているなら、その苦労はよくわかるでしょう。基板上の全ての場所で均一な温度が必要ですが、電力コストを無駄にしたくはありません。 問題は、IRランプが熱をあらゆる方向に放出することです。適切な反射器がないと...