持続可能な製造ソリューション

ファブ内での熱の無駄遣いを止めましょう。 ほとんどの加熱素子は、電球のようにエネルギーをあらゆる方向に放出します。半導体製造ラインではこれは問題です。ウェーハを加熱しようとしても、実際には装置内部が加熱されてしまい、結果としてエネルギーが無駄になってしまいます。さらに悪いことに、装置が巨大な放熱器...