ニコンのステッパーランプの交換

リソグラフィーの工程において、出力や温度プロファイルが不安定なニコン製ステッパーランプを使用すると、光の強度が低下するだけでなく、露光精度も悪化します。その結果、ソフトベイクやハードベイクの過程でフォトレジストの状態が乱れ、線幅のばらつきや残留膜の発生、歩留まりの低下といった問題が生じます。これら...