なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか スマートファクトリーを構築する際、熱管理は常に大きな課題です。しかし、本当に問題となるのは、石英管と電気配線が接続されている部分です。そこが問題の発生源となります。 だからこそ、私たちはセラミック製のエンドキャップを利用するのです...

300mmプロセスでは、ベイクプロファイルにわずかなずれがあっても、スケジューラーは停止しません。半度ほどのずれでも、ウェハの線幅に影響を与え、最終的には廃棄処分につながる可能性があります。対流式オーブンは、クリーンルームのスペースや処理時間の面で制約をもたらします。一方、ホットプレートでは、エッ...