実際に重要な場所により多くの熱を与える：ウェーハの硬化処理
もしウェーハの硬化処理ラインを運営しているなら、その苦労はよくわかるでしょう。基板上の全ての場所で均一な温度が必要ですが、電力コストを無駄にしたくはありません。
問題は、IRランプが熱をあらゆる方向に放出することです。適切な反射器がないと、結局は機械自体が熱くなってしまい、製品自体が十分に加熱されないのです。つまり、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。
なぜ金を使うのか
安価なアルミニウムを使う人もいますが、アルミニウムはエネルギーを過剰に吸収し、温度が上がると機能しなくなってしまいます。
私たちは高純度の金を使用しています。なぜかというと、金は赤外線を反射するのに最適な素材だからです。赤外線をほぼすべてウェーハに戻すのです。
これにより、消費する1ワットあたりでより多くの熱がウェーハに与えられます。さらに、ビームを集中させることで、熱が均等に分布します。 Hot spotがなく、ウェーハも歪むことがありません。クリーンで安定した硬化処理が可能になります。
賢い形状で長寿命を実現
重要なのは材料だけではありません。形状も重要です。私たちは反射器を曲げて、放射線を狭い範囲に集中させます。
このようにして熱密度を高めると、素晴らしいことが起こります。ランプの出力を下げても同じ硬化速度が得られるのです。そうすれば、フィラメントへの負担も大幅に減り、劣化したランプの交換頻度も低下します。
正直な妥協点
金は安くありません。研磨済みの鋼やアルミニウムよりも初期投資が大きくなります。
また、丁寧に扱う必要があります。金の表面にほこりや化学物質が付着すると、エネルギーが反射されずに吸収されてしまい、「Hot Spot」が発生します。それによってコーティングが剥がれてしまいます。
必ず清潔に保ちましょう。厳格な清掃スケジュールを守れば、良好な性能を維持できます。
最後に、ウェーハに大量の熱を集中させるため、チャンバーの温度が通常より高くなることがあります。冷却システムがその負荷に耐えられるようにしておきましょう。