ファブの現場では、150mmのSiCウェーハがリソグラフィー装置内に置かれており、今にもフォトレジストの焼成が始まるところです。わずか数度の温度変動でも、重要な寸法制御が乱れ、多大なコストがかかってしまいます。そのため、ヒーターランプは単なる熱源として機能するだけでなく、再現性のある熱管理装置とし...

ファブの現場では、フォトレジストのベイクプロファイルは単なる好みの問題ではありません。それは、製品の歩留まりを左右する重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃ほどの温度変動があるだけで、CDの位置がずれたり、スカムが発生したりして、全体の製品が廃棄されてしまうこともあります。私たちは、...

ライン上では、300mmウェーハがソフトベイクを待っている。これはフォトレジストのプロファイルを固定する工程だ。わずか2℃のずれが、重要寸法を崩し、全ロットの廃棄につながる。これを防ぐために、当社は光学ウェーハ処理用ヒーターを設計した。 実際に重要なのは以下の点である。 本装置は、石英強化チャンバ...