工場内の二酸化炭素排出を削減するために：なぜ私たちは赤外線を利用するのか 最近は、誰もがカーボンニュートラルについて話していますが、半導体製造工場に勤務する私たちにとっては、これは非常に難しい課題です。長年使われてきた従来の抵抗加熱方式では、エネルギーの無駄遣いが激しすぎます。 そのため、私たちは...

もう、防水処理が施された加熱テーブルを単なる使い捨てのものとして扱わないでください。 IP44等級の防水加熱テーブルの実態はこうです：確かに湿気からの保護性能は優れていますが、それでも壊れてしまうことがあります。賑やかな店舗では、赤外線ランプが必ず消耗してしまいます。それが当然のことなのです。 問...

適切な間隔の設定：ウェーハ加熱における赤外線ヒーターの利用 スマートな製造ラインを構築する場合、古式の熱質加熱ではもはや十分ではないことがわかっているでしょう。速度が遅すぎるからです。そのため、高強度の赤外線システムを使用します。これにより、温度を素早く上げ下げできるので、デジタル化された生産ライ...

なぜIP65対応の赤外線ヒーターが、現代のバスルームの改修に最適な選択肢なのか シャワーを出た瞬間、浴室の冷たい空気が体に当たる感覚はありませんか？私たち全員が経験したことがあるでしょう。 だからこそ、ますます多くのデザイナーたちが従来のランプ式ヒーターを捨て、IP65規格の赤外線ヒーターに切り替...

300mmプロセスでは、ベイクプロファイルにわずかなずれがあっても、スケジューラーは停止しません。半度ほどのずれでも、ウェハの線幅に影響を与え、最終的には廃棄処分につながる可能性があります。対流式オーブンは、クリーンルームのスペースや処理時間の面で制約をもたらします。一方、ホットプレートでは、エッ...

ファブフロアでは、フォトレジストのベークがわずかにずれるだけで、ライン上で目に見える前に歩留まりを大きく損なう可能性があります。パワーデバイス用ウェハでは、熱予算が厳しいため、加熱ランプはサイクルごと、ロットごとにまったく同じ温度に到達させる必要があります。温度変動も予期せぬ事態も許されません。...