クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームを運用する際には、「ほぼ清潔」というだけでは不十分です。わずかなほこりや、ヒーターから発生するガスでさえも、半導体ウエハーや医療用インプラントを数秒以内に破壊してしまう可能性があります。これは本当に深刻な問題です。
そのため、私たちは金コーティングが施された高純度の石英製ツインチューブランプを使用しています。聞こえは豪華に思えますが、実際の理由はとても単純です。
なぜ金が重要なのか
ほとんどの赤外線ランプは、熱をあちこちに放散してしまいます。これは無駄遣いです。そこで、石英製のケースの裏側に薄い金膜を塗ることで、ミラーのように機能させています。
これにより、機械のフレームが温められるのを防ぎ、その代わりに、生成された赤外線が直接ワークピースに当たるようになります。つまり、目的の部分に届く熱量が2倍になるのです。さらに良い点は、熱が集中するため、低い温度でも同じ効果が得られるということです。その結果、石英製の部品の寿命が延び、過度な熱による劣化の心配もありません。
材料に関するポイント
私たちは高純度の合成石英を使用しています。安価なガラスではイオンが溶出してしまい、これはクリーンルームでは絶対に避けるべきことです。ツインチューブ構造により、多くの表面積を活用して熱を放出でき、装置のスペースを取りすぎることもありません。
また、電源にも注意が必要です。電圧やワット数がランプの規格に合っているかを確認してください。過剰な電圧をかけてランプを高温にしようとすると、フィラメントが壊れてしまいます。
注意すべき点
これらのランプは精密な道具ですが、同時に壊れやすいものでもあります。設置時に金コーティングが傷つくと、局所的に過度な熱が発生し、均一な加熱ができなくなります。これは修理が大変なので、必ずノンウォッシュグローブを使用してください。
また、これらのランプは熱を集中させる能力が高いため、冷却システムも十分な性能を持っている必要があります。オーブンの背面には多量の反射熱が蓄積されるため、冷却システムがその負荷に耐えられるかを確認してください。