一つのランプが壊れるだけで、全てのウェーハが台無しになってしまうのを防ごう 忙しい製造現場では、ランプが壊れるというのは単なる面倒事や短時間の停止に過ぎないわけではありません。それはまさに悪夢です。 例えば、乾燥工程の最中に石英管が破裂したと想像してみてください。ガラスの破片や金属のフィラメントが...

ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ認証済みの赤外線ランプが重要なのか 正直言って、半導体製造工場は莫大なエネルギーを消費します。特に、ウェーハを適切な温度にするための硬化や焼成工程ではその傾向が顕著です。もしまだ古い方式の対流式オーブンを使っているなら、数枚のウェーハを適切な温度にするために、大量の...

ファブの機器で起こる「ホットウォール」という問題を解決しましょう。 一般的な加熱要素は、あらゆる方向に熱を放出してしまいます。つまり、360度全方位にエネルギーが放散されるのです。半導体製造プロセスでは、これは大きな問題となります。 熱が至る所に行ってしまうと、高価な機器の内壁がその熱を吸収してし...

灰塵が生産性を台無しにするのを防ごう 半導体製造工場や高精度光学機器の世界では、わずかな灰塵でも大問題です。たった一粒の灰塵で、ウェーハ全体が台無しになってしまうこともあります。 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、通常の加熱要素では不十分だということをご存知でしょう。加熱や冷却の際...

ファブ内での熱の無駄遣いを止めましょう。 ほとんどの加熱素子は、電球のようにエネルギーをあらゆる方向に放出します。半導体製造ラインではこれは問題です。ウェーハを加熱しようとしても、実際には装置内部が加熱されてしまい、結果としてエネルギーが無駄になってしまいます。さらに悪いことに、装置が巨大な放熱器...

なぜ赤外線硬化が無鉛チップにとって最適なのか 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準へと移行しようとしています。しかし、多くの工場では依然として古い方式の対流式オーブンを使っています。正直言って、大量の空気を加熱してエネルギーを伝えるのは非効率的です。電力の無駄遣いであり、時間も無駄になります。...

安全を守るために：揮発性物質が多い場所での炭素繊維製IRランプの使用法 化学洗浄エリアで赤外線ヒーターを使用する場合、燃えやすい蒸気や腐食性のある物質が至る所にあるという問題があります。通常のオープンタイプのランプをそこに設置するのは、まさに火災を招く行為です。あまりにも危険すぎます。 このような...

ファブでは、細部にこだわることが生死を分けます。フォトレジストの加熱時に0.5℃のずれがあっただけで、線幅がナノメートル単位で変わってしまいます。パッケージング工程で1分間でも計画外の停止が発生すれば、全体のスケジュールが乱れてしまいます。 ヒーター用の電力ケーブルは、単なる付属品ではありません。...

製造現場において、フォトレジスト処理時の熱変動は単なる学術的な問題ではありません。それは線幅のばらつきや接着不良、歩留まりの低下といった問題として現れ、一回の処理ごとに悪化していきます。ですから、プロセスに逆らわず、むしろプロセスをサポートするような加熱源が必要です。私たちのRTPランプはまさにそ...

ウェーハがリソグラフィーを通過すると、パッケージングラインのダイアタッチ工程へ進む。そこへの引き渡し前に、表面上のあらゆる水分を除去する必要がある。残留すると、アンダーフィル内のボイド、ボンド界面でのデラミネーション、あるいはインライン検査で検出されない潜在的な信頼性低下のリスクを負うことになる。...