半製品の炭素排出量を削減する：なぜ防水型赤外線ランプが効果的か
もし、自社の工場を「グリーンファクトリー」にしたいと思っているなら、おそらく洗浄や乾燥の工程で多くのエネルギーが無駄に消費されていることに気づいているはずです。多くの工場では、依然として大規模な対流式オーブンや、電力を多く消費するホットエアブロワーを使用しています。これは大変なエネルギーの無駄遣いです。
私たちはより良い方法を見つけました。チェンバー内の空気全体を加熱する代わりに、防水型の赤外線ランプを使用します。このランプは、放射エネルギーを使ってウェハ表面の水分を直接加熱します。これにより、より効率的で、迅速に処理が行えます。
湿度の対処法
洗浄工程では、環境が非常に湿っています。普通のランプを使うと、すぐに故障してしまいます。
そのため、特殊なシールや防水ケースを使用します。水分を電気接点から遠ざける必要があります。そうしないと、機器が停止してしまいます。短波長の赤外線を使用することで、ほぼ瞬時に熱が伝わります。ウェハは数秒で蒸発温度に達します。
しかし、ワット数には注意が必要です。より小さな乾燥トンネルを使いたい場合は、より高い出力密度が必要です。ただし、狭い空間に多くのワット数を入れると、チャッシュ内部で大量の熱が発生します。適切な冷却ファンを使わないと、制御用の電子部品が壊れてしまいます。
適切な機器の選択
通常の石英管では、このような環境には耐えられません。湿度や熱ショックの影響で、すぐに破損してしまいます。そのため、厚壁の石英管やコーティングされた管を使用し、機器の耐久性を高めています。また、コネクタもしっかりと密封しておくことで、酸化や偶発的な短絡を防ぎます。
また、ランプの放射率にも十分な注意を払います。コーティングを調整することで、波長をウェハや洗浄液に最適化できます。そうすれば、エネルギーがウェハに直接届き、機器の内壁が過度に加熱されることがありません。
炭素排出量削減のメリット
最も良い点は、「ウォームアップ」の時間が不要になることです。
強制送風式のシステムでは、温度が上がるのに時間がかかり、通常は無駄に電力を消費しています。一方、赤外線ランプは即座に動作します。ウェハがある時だけ電力を消費します。これは単純な変更ですが、多くの従来の装置で問題となっている無駄なエネルギー消費を解決します。