省エネ型ウェーハヒーター

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 もしクラス100の環境でシリコンウェーハを加熱しているのであれば、ガスが発生するという問題をご存知でしょう。わずかな微粒子やVOCが混入するだけで、作業したウェーハ全体が無価値になってしまいます。本当に厄介です。 そのため、私たちは通常のヒー...