灰塵が生産性を台無しにするのを防ごう
半導体製造工場や高精度光学機器の世界では、わずかな灰塵でも大問題です。たった一粒の灰塵で、ウェーハ全体が台無しになってしまうこともあります。
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、通常の加熱要素では不十分だということをご存知でしょう。加熱や冷却の際に、微細な汚れが発生してしまいます。そのため、私たちは製造用のランプに高純度の石英ガラス製のシールドを使用しています。
なぜ石英が効果的なのか
ほとんどのガラスにはホウ素やナトリウムが含まれています。高温になると、これらの物質が移動し始めます。これでは、清潔さを保つのは難しいです。
私たちが使用するのは融結シリカです。この素材には金属不純物が含まれていないため、安定した状態を保つことができます。このシールドは、ワークピースの「ボディーガード」として機能します。赤外線を目的の場所に届けつつ、フィラメントやランプ本体から出る汚れが製造エリアに入るのを防ぎます。
クリーンさを維持するために
私たちは単にガラスを切って送るだけではありません。組み立て前に、表面の汚れをしっかり除去します。
また、取り付けの精度も重要です。許容範囲を超えると、粒子が隠れやすくなります。このシールドは短波長の赤外線を通過させつつ、吸収しないため、必要な熱密度を得ることができます。シールド自体も安定しており、新たな汚染源になることはありません。
実際の使用上の注意点
良いニュースは、既存のランプにこのシールドを取り付けることで、クリーン度を向上させられるということです。非常に簡単なアップグレードです。
しかし、高純度の石英はもろいという欠点があります。取り付け時に少しでも力を加えたり、急激な温度変化があると、管が割れてしまいます。必ず防塵手袋を着用して扱ってください。また、取り付けブラケットがガラスを過度に圧迫しないように注意してください。
最後に、空気の流れも確認してください。冷却がうまくいかないと、ランプとシールドの間に熱が溜まります。そうなると、ランプは予想以上に早く壊れてしまいます。必ず、その点も考慮して設計してください。