直線型赤外線加熱エミッター

300mmプロセスでは、ベイクプロファイルにわずかなずれがあっても、スケジューラーは停止しません。半度ほどのずれでも、ウェハの線幅に影響を与え、最終的には廃棄処分につながる可能性があります。対流式オーブンは、クリーンルームのスペースや処理時間の面で制約をもたらします。一方、ホットプレートでは、エッ...