팹 내 탄소 배출 감소: 인증된 적외선 램프가 왜 중요한가?
솔직히 말해서, 반도체 제조 공장은 엄청난 에너지를 소비합니다. 특히 치료 및 건조 단계에서 그 문제가 더욱 심각합니다. 여전히 구식의 대류식 오븐을 사용한다면, 몇 개의 웨이퍼를 적절한 온도로 가열하기 위해 엄청난 양의 에너지가 낭비됩니다. 이는 엄청난 낭비입니다.
인증된 적외선 램프를 사용하면 공정의 효율성이 획기적으로 향상됩니다. 제품 주변의 공기를 가열하는 대신, 적외선 램프는 에너지를 직접 웨이퍼나 기판에 전달합니다.
이는 열에 대한 우리의 인식을 완전히 바꾸는 것입니다.
공기를 가열하는 것을 멈추세요.
일반적인 가열 방식은 매우 느립니다. 오븐이 목표 온도에 도달하기까지 한 시간 이상 기다려야 합니다. 이는 매우 성가시고 비용도 많이 듭니다.
적외선 시스템을 사용하면, 단파나 중파 방사체를 사용하여 포토레지스트나 코팅층의 특정 흡수 대역에 에너지를 집중시킬 수 있습니다. 스위치를 누르자마자 몇 초 만에 목표 온도에 도달합니다.
공간 낭비가 없으므로 탄소 발자국도 줄어듭니다. 더 간단하고 빠르며, 지구에도 더 친절한 방법입니다.
열 유량의 세부 사항
팹에서는 “충분히”라는 것만으로는 부족합니다. 정확성이 필요합니다.
그래서 우리는 석영 재질의 케이싱을 사용합니다. 이 재질은 극심한 열應力에도 변형되지 않습니다. 또한 인증된 램프를 사용함으로써 램프의 양쪽 끝에서의 스펙트럼 출력이 일정하다는 것을 보장할 수 있습니다.
왜 이것이 중요한가요? 파장이 변하면 치료 속도가 불규칙해집니다. 그 결과 “쿨 스팟”이 생기고, 결국 값비싼 웨이퍼들이 폐기되게 됩니다. 아무도 그런 상황을 원하지 않습니다.
한 가지 주의해야 할 점은, 이러한 램프들은 매우 강력한 에너지를 방출한다는 것입니다. 그래서 램프의 케이싱이 매우 뜨거워집니다. 정말 뜨거워집니다.
따라서 냉각 시스템을 제대로 설계해야 합니다. 냉각이 제대로 되지 않으면 배선이 손상되거나 반사체가 망가질 수 있습니다. 그러면 다시 처음으로 돌아가게 됩니다.
“친환경 공장”을 실현하는 방법
지속 가능한 공장을 만드는 것은 단순히 전구를 교체하는 것만으로는 안 됩니다. 중요한 것은 열을 어떻게 조절하는지입니다.
우리는 이러한 램프와 PID 컨트롤러 및 센서를 함께 사용하여 즉각적으로 반응합니다. 이를 통해 온도가 과도하게 상승하는 것을 방지할 수 있습니다. 특정 층의 두께에 필요한 정확한 양의 에너지만이 방출됩니다. 그 이상도 그 이하도 아닙니다.
그냥 작동합니다.