반제품 생산 과정에서의 탄소 배출 감소: 왜 방수형 적외선 램프가 효과적인가?
만약 여러분이 자신의 제조 공장을 “친환경 공장”으로 만들고 싶다면, 아마도 세척 및 건조 과정에서 많은 에너지가 낭비된다는 것을 알고 있을 것입니다. 대부분의 공장들은 여전히 대형 대류식 오븐이나 고출력 열풍기를 사용하고 있습니다. 이는 엄청난 양의 열이 낭비되는 것을 의미합니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 전체 공간의 공기를 가열하는 대신, 방수형 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프는 복사 에너지를 통해 웨이퍼 표면의 수분을 직접 가열합니다. 이 방식은 더 깨끗하고, 빠르며, 훨씬 효율적입니다.
습도 문제 해결
세척 과정에서는 환경이 매우 습합니다. 만약 일반적인 램프를 사용한다면, 그 램프는 곧 고장날 것입니다.
그래서 우리는 특수한 씰과 방수 처리된 하우징을 사용합니다. 수분이 전기 접점에 닿지 않도록 해야 하므로, 그렇지 않으면 공장이 멈추게 됩니다. 우리는 단파 적외선을 사용하는데, 이는 열을 거의 즉시 전달하기 때문입니다. 웨이퍼는 몇 초 안에 증발 온도에 도달합니다.
하지만 와트 수를 조절하는 것도 중요합니다. 더 작은 건조 튜브를 사용하려면 더 높은 전력 밀도가 필요합니다. 하지만 너무 많은 전력을 좁은 공간에 집중시키면 기계의 발열이 심해집니다. 적절한 냉각 팬을 사용하지 않으면 제어 장치가 손상될 수 있습니다.
적절한 장비 선택
일반적인 석영관은 이런 환경에서 제대로 작동할 수 없습니다. 습도와 열충격으로 인해 석영관은 금방 파손됩니다. 그래서 우리는 두꺼운 벽의 석영관이나 코팅된 관을 사용합니다. 또한 커넥터도 철저히 밀봉하여 산화나 갑작스러운 단락을 방지합니다.
또한 램프의 방사율에도 많은 노력을 기울입니다. 코팅을 조절함으로써 파장이 웨이퍼와 세척 액체와 일치하도록 할 수 있습니다. 이렇게 하면 에너지가 기계의 벽만 가열하는 것이 아니라, 실제로 물에 전달됩니다.
탄소 배출 감소의 효과
가장 좋은 점은 더 이상 “온도 상승 시간”이 필요하지 않다는 것입니다.
강제 공기 순환 방식은 온도가 오르는 데 오랜 시간이 걸리며, 그동안 계속해서 에너지를 소모합니다. 반면 적외선 램프는 즉시 작동합니다. 웨이퍼가 들어오면만 전력을 소비합니다. 이는 간단한 변화이지만, 많은 기존 기계들이 겪는 불필요한 에너지 낭비를 줄여줍니다.