실제로 중요한 곳에 더 많은 열을 전달하기: 웨이퍼 교정 과정
웨이퍼 교정 라인을 운영한다면 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 기판 전체에 균일한 온도가 필요하지만, 그러기 위해 너무 많은 전력을 소비하고 싶지는 않습니다.
문제는 IR 램프가 열을 사방으로 방출한다는 점입니다. 적절한 반사체가 없으면, 결국 기계 자체가 가열되고, 제품은 제대로 가열되지 못합니다. 에너지의 절반이 웨이퍼에 도달하기도 전에 낭비됩니다.
왜 우리는 금을 사용하는가?
일부 사람들은 비용이 저렴하다는 이유로 알루미늄을 사용합니다. 하지만 알루미늄은 너무 많은 에너지를 흡수하여, 온도가 너무 높아지면 제 기능을 하지 못합니다.
우리는 고순도 금 코팅을 사용합니다. 왜냐하면 금은 적외선을 반사하는 데 매우 효과적이기 때문입니다. 거의 모든 복사열이 다시 웨이퍼 쪽으로 반사됩니다.
이렇게 하면 전력 1와트당 더 많은 열이 웨이퍼 표면에 도달합니다. 게다가, 열이 고르게 분산되어 과열된 부분이 생기거나 웨이퍼가 변형되는 일도 없습니다. 깨끗하고 안정적인 교정이 가능합니다.
스마트한 형태, 더 긴 수명
중요한 것은 재료뿐만 아니라 형태도 중요합니다. 우리는 반사체의 형태를 조절하여 복사열을 좁은 영역에 집중시킵니다.
열 밀도가 높아지면 좋은 결과가 나타납니다. 램프의 출력을 줄여도 같은 교정 속도를 유지할 수 있습니다. 그렇게 되면 필라멘트에 가해지는 부담도 줄어들어, 고장난 램프를 자주 교체할 필요도 없습니다.
현실적인 타협점
금은 저렴한 재료가 아닙니다. 연마된 강철이나 알루미늄보다 초기 투자 비용이 더 많이 듭니다.
또한 금 표면에 먼지나 화학물질이 쌓이면 에너지가 반사되는 대신 흡수되어 “과열된 부분”이 생깁니다. 그래서 코팅이 벗겨지는 경우가 생깁니다.
따라서 반사체를 깨끗하게 유지해야 합니다. 엄격한 청소 일정을 지키면 계속해서 잘 작동할 것입니다.
마지막으로, 웨이퍼에 너무 많은 열이 집중되므로 챔버 내부의 온도가 평소보다 높아질 수 있습니다. 따라서 냉각 시스템이 추가된 부하를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다.