중파 쿼츠 히터 튜브

제조 현장에서의 포토레지스트 베이킹은 준비 과정이 아닙니다. 이는 선 폭 제어를 위한 게이트키퍼입니다. 웨이퍼에서 2°C의 드리프트가 발생하면, 중요한 치수에 변동이 생깁니다. 중파 석영 히터 튜브는 드리프트가 시작되기 전에 이를 중지하도록 설계되었습니다. 기술적으로...