먼지로 인해 생산성이 저하되는 것을 막으세요. 반도체 제조 공장이나 고성능 광학 장비의 경우, 아주 작은 먼지 한 알도 단순한 성가심이 아니라 큰 문제가 됩니다. 그런 먼지들 때문에 웨이퍼 전체가 망가질 수도 있습니다. 만약 클래스 100 등급의 청정실을 운영하고 있...

제조 현장에서의 포토레지스트 베이킹은 준비 과정이 아닙니다. 이는 선 폭 제어를 위한 게이트키퍼입니다. 웨이퍼에서 2°C의 드리프트가 발생하면, 중요한 치수에 변동이 생깁니다. 중파 석영 히터 튜브는 드리프트가 시작되기 전에 이를 중지하도록 설계되었습니다. 기술적으로...