팹 히터용 전력 케이블
팹에서는 세부 사항이 생존과 직결됩니다. 포토레지스트를 가열할 때 0.5°C만의 오차가 있어도 회로선의 폭이 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 포장 과정에서 1분만이라도 계획되지 않은 중단이 발생해도 전체 생산 일정에 영향을 미칩니다.
히터용 전력 케이블은 단순한...
AFM(원자력 현미경) 히터
AFM 스테이지의 온도 변동은 단순히 측정 노이즈로 나타납니다. 반도 정도의 온도 변동만으로도 패턴의 위치가 왜곡되고, 포토레지스트의 프로파일에 오류가 생기며, 양질의 제품들도 재작업을 해야 하는 상황이 발생합니다. 우리는 프로브와 샘플을 설정된 온도로 유지할 수 있...
전력 소자 웨이퍼 가열 램프
반도체 제조 현장에서, 포토레지스트 베이크가 조금이라도 벗어나면 생산 수율에 치명적인 영향을 미치며 라인에서 바로 확인하기 어렵다. 전력 소자 웨이퍼의 경우 열 관리 한계가 엄격하여, 히팅 램프는 사이클마다, 로트마다 동일한 온도를 유지해야 한다. 온도 편차나 예기치...