中波石英ヒーター管

ファブフロアでのフォトレジスト焼成はウォームアップではない。それはライン幅制御のゲートキーパーである。ウェーハ全体に2℃のドリフトが現れると、重要寸法が変化してしまう。中波クォーツヒーター管は、そのドリフトが始まる前にそれを止めるように設計されている。 技術的に重要なこと 中波クォーツは、フォトレ...