安全を守るために：化学洗浄におけるIRランプの利用 ウェーハを化学薬品で洗浄する際、実質的には不安定で可燃性の高い溶剤と共に作業していることになります。このような環境では、通常の赤外線ランプは単なる工具ではなく、むしろ危険因子となります。わずかな火花や端子の過熱だけで、大規模な爆発が起こり得ます。...

水素センサーのための適切な加熱方法 もし、これまでに水素センサーを作ってみたことがあるなら、その困難さはよくわかるでしょう。膜を壊さずに保ちつつ、触媒がしっかりと固定されるようにする必要があります。これは非常に微妙なバランスが求められます。 だからこそ、私たちは赤外線（IR）システムを採用しました...

空気を加熱するのはやめよう：MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェーハを乾燥させる際の苦労がどれほど大変かご存知でしょう。これはバランスを取る必要がある作業です。ウェーハを完全に乾燥させ、残留物を残さないようにしたいけれど、単純に熱を当ててし...

半導体製品の加熱において、もはや従来の方法を使うべきではありません。より効果的な加熱方法があります。 実際の仕組み 一般的な石英ランプは、あらゆる方向に光を放つため、狭い空間では大量の熱が発生します。これは問題です。私たちは、指向性のある赤外線加熱を利用してこの問題を解決します。 具体的には、通常...

はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちが製造しているのは赤外線加熱ランプですが、ただのランプではありません。これらは、半導体ウェーハを加熱するという過酷な作業のために設計された高精度な機器です。 そして、その作業環境は極めて危険です。ウェーハを洗浄するチャンバー内には、簡単に火災や爆発を引き...