ファブの機器で起こる「ホットウォール」という問題を解決しましょう。 一般的な加熱要素は、あらゆる方向に熱を放出してしまいます。つまり、360度全方位にエネルギーが放散されるのです。半導体製造プロセスでは、これは大きな問題となります。 熱が至る所に行ってしまうと、高価な機器の内壁がその熱を吸収してし...

半導体装置の内部を加熱しながら、外部は冷たく保つ方法 半導体装置においてよくある問題として、内部を高温にする必要がある一方で、外部が高温になってしまうのは避けたいというものです。対流や一般的な加熱方式を使うと、熱が装置の外壁に広がってしまい、機械を操作する人にとって危険な状況になります。さらに、温...

なぜクリーンルーム用のトロリーに赤外線を採用するのか？ スマートファクトリーを構築する際、従来の対流式加熱ではもはや不十分だと気づくでしょう。それは非効率的です。 私たちは最近、トロリー用ヒーターとして赤外線システムを採用しています。その理由は簡単です。赤外線は直接対象物を加熱するからです。部屋全...