工厂中最受认可的RTP灯管

在芯片制造过程中，光刻胶处理过程中的温度变化并非无关紧要的问题。它会导致线宽变化、粘附性问题以及成品率下降，而且这些问题会随着工艺的重复而持续存在。因此，需要使用能够与工艺相辅相成的加热源，而不是与工艺相抵触的加热源。我们的RTP灯正好能满足这一需求。 我们采用了石英-卤素结构的短波和中波红外发射...