SiC晶圆加工加热灯

在制造车间里，150毫米厚的SiC晶圆被放置在光刻设备中，准备进行光阻烘烤处理。哪怕温度出现几度的波动，都可能影响晶圆的尺寸精度，从而带来巨大的成本损失。因此，加热灯不能仅仅是简单的热源，它必须具备精确控温的功能。 关键在于其内部结构 我们设计的SiC晶圆处理用加热灯，采用了石英封装的短波红外卤素...