线性红外加热发射器

在300毫米生产线中，即使烘烤参数出现微小偏差，调度系统也不会停止工作。哪怕是半度的偏差，都可能导致晶圆边缘的线宽出现异常，进而造成产品报废。对流式烤箱则会在洁净室空间和处理时间方面带来限制；而热板则会导致晶圆表面出现边缘到中心的温度梯度，从而迫使人们在产量与质量之间做出难以取舍的选择。 真正重要...