MEMS传感器晶圆干燥加热器

停止加热空气：一种更有效的MEMS晶圆干燥方法 如果你曾经参与过MEMS晶圆的制造过程，就会知道让晶圆完全干燥是多么困难的一件事。这需要找到一个平衡点——既要让晶圆彻底干燥且无残留物，又不能用过高的温度来加热，否则会导致晶圆变形。 大多数人会直接把晶圆放入普通的对流式烤箱中。但问题在于，这种烤箱会...