ASML光刻机灯管备件

在制造车间里，温度控制至关重要：哪怕光刻胶的烘烤温度偏离0.2摄氏度，也可能会影响产品的尺寸精度，进而导致大量晶圆报废。因此，需要使用那些能够提供稳定热信号的备用灯源，而不是那种温度会不断变化的灯源。我们的ASML光刻机用备用灯源恰恰能满足这一要求，其温度特性与工艺要求完全一致。 关键在于稳定性...