洁净室烤箱红外加热器

试想一下，普通的对流式烤箱的工作原理：它首先加热空气，然后再让这些热空气去加热工件。在半导体洁净室中，这种做法其实是一种能源的浪费——人们要花费大量资金来加热烤箱的墙壁以及机器周围的空气，这显然很不合理。最糟糕的是，设备的表面会变得极其烫热。没人希望操作员因为设备表面过热而受伤。 正因如此，我们才...