如何保持100级洁净室的清洁状态 在运营100级洁净室时，所谓的“几乎干净”是远远不够的。哪怕是一点点的灰尘或加热元件释放出的气体，都可能在一瞬间毁掉半导体晶圆或医疗植入物。这真是可怕的情况。 因此，我们使用带有金涂层的高纯度石英双管灯。听起来很复杂，但实际上原因很简单。 为何黄金如此重要 大多数...

在制造车间，光刻胶烘烤并不是热身。它是线宽控制的守门员。让晶圆上出现2°C的漂移，你的关键尺寸就会发生变化。中波石英加热管的设计旨在在漂移开始之前就将其阻止。 技术上重要的内容 中波石英在一个频段内发射，与光刻胶和聚合物薄膜良好耦合，因此你是在加热薄膜，而不是加热腔体壁。其效果是亚毫米级的热均匀性...