确保安全：化学晶圆清洗中的红外灯应用 在用化学试剂对晶圆进行清洗时，实际上就是在与易挥发、易燃的溶剂打交道。在这种环境下，普通的红外灯就不再只是个工具而已，而是一种潜在的危险源。哪怕有一点点火花或终端部位出现过热现象，都可能引发严重的爆炸事故。 为了解决这个问题，我们完全避免使用开放式红外灯，而是...

在晶圆工位，光刻胶预烘或晶圆干燥过程中的热漂移不仅仅是产线速度的影响。它会在晶圆上产生无法接受的缺陷。 用于晶圆设备的红外灯插座专注于一项工作：保持工艺温度在所需位置——稳定、可重复，并且位于膜层的热预算内。 底层关键信息 我们采用短波红外发射器，配合石英插座和反射器几何形状，将热量快速且有方向性...