半导体加热器用热电偶

在线上，温度不仅仅是一个数字——它决定了产量与废品的界限。热板温度漂移0.5°C，可能导致光刻胶软烘偏离规格。硬烘温度升高几度，会出现CD损失和污渍现象。光刻及光刻胶处理对热预算没有容忍余地，洁净室环境也同样严格。 关键技术细节 我们将热电偶布置与加热器几何形状匹配，使其直接测量关键点的温度。目标...