高能效晶圆加热器

如何保持100级洁净室的清洁状态 如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理，那么你肯定知道气体释放带来的麻烦。哪怕有一小块杂质或挥发性有机化合物存在，整个批次的产品都会变得毫无价值。这真是令人沮丧。 因此，我们不再使用普通的加热元件，而是采用高纯度的合成石英红外灯。 为什么选择石英？ 金属外壳的...