中波石英加热管

在制造车间，光刻胶烘烤并不是热身。它是线宽控制的守门员。让晶圆上出现2°C的漂移，你的关键尺寸就会发生变化。中波石英加热管的设计旨在在漂移开始之前就将其阻止。 技术上重要的内容 中波石英在一个频段内发射，与光刻胶和聚合物薄膜良好耦合，因此你是在加热薄膜，而不是加热腔体壁。其效果是亚毫米级的热均匀性...