真空室红外加热器
别再让加热器破坏你的真空环境了 如果你在操作100级洁净室,那么你一定知道颗粒物或化学物质泄漏带来的灾难性后果。哪怕只有一点点杂质,整个生产批次都会毁掉。
问题在于,大多数普通加热器根本不适合用于这种环境。它们使用的是粘合剂、低质量的涂层或易在高温下分解的金属,这些材料会将污染物释放到真空腔中。...
可与真空环境配合使用的红外加热器
为什么真空红外加热器是现代半导体制造厂的理想选择 在半导体行业,人们一直在努力实现“无铅”和“零排放”的目标。长期以来,我们一直依赖传统的对流式烤箱来加热水分。但问题在于:让大量空气流动其实是一种能源浪费。更糟糕的是,这些流动的空气还会带来灰尘和颗粒物,从而损坏晶圆。
因此,我们转而使用与真空环境...