晶圆设备用红外灯灯座

在晶圆工位，光刻胶预烘或晶圆干燥过程中的热漂移不仅仅是产线速度的影响。它会在晶圆上产生无法接受的缺陷。 用于晶圆设备的红外灯插座专注于一项工作：保持工艺温度在所需位置——稳定、可重复，并且位于膜层的热预算内。 底层关键信息 我们采用短波红外发射器，配合石英插座和反射器几何形状，将热量快速且有方向性...