AFM 原子間力顕微鏡 用ヒーター

AFMのステージ温度の変動は、単純に測定ノイズとして現れます。わずか0.5度の変動だけで、エッジの位置が正確に把握できなくなったり、フォトレジストのプロファイルが乱れたり、良品が再処理を余儀なくされたりします。私たちは、AFMホットエレメントを設計し、プローブとサンプルを所定の温度に保つようにしま...