推測をやめて、デジタルIR制御に移行しましょう スマートファブを構築する場合、まず最初に廃止すべきなのが古いアナログ式サーモスタットです。つまり、手で調整しなければならない那种の装置です。これは非常に面倒です。 より良い方法は、デジタルIRドライヤー用のコントローラーを使用することです。熱というも...

リソグラフィーの工程では、FOUPは前回のクリーニング時に残った薄い水分をまだ含んだ状態で搬送されます。もしソフトベイクの過程で温度が安定しなくなると、フォトレジストの厚みが変化し、露光が始まる前から寸法制御が難しくなります。そのため、水分を除去し、温度を再現性良く維持できるFOUP用ドライヤーが...