なぜ金メッキされたIRランプが、あなたの製造工程にとって重要なのか では、待つという時間の問題について話しましょう。 もし従来の強制対流式の加熱方式を使っている場合、どうなるかご存知でしょう。まず空気を加熱し、その空気がウェーハを温めるのです。これは遅く、時間の無駄になります。半導体製造においては...

工場内の二酸化炭素排出を削減するために：なぜ私たちは赤外線を利用するのか 最近は、誰もがカーボンニュートラルについて話していますが、半導体製造工場に勤務する私たちにとっては、これは非常に難しい課題です。長年使われてきた従来の抵抗加熱方式では、エネルギーの無駄遣いが激しすぎます。 そのため、私たちは...

ウェーハヒーターでの電力の無駄遣いをやめましょう。 半導体製造において、電力の無駄遣いは単にコストがかかるだけでなく、設計上の問題を示しています。ウェーハの表面を加熱する際には、「より多くの熱」を得るだけでは不十分です。そのエネルギーを正確に目的の場所に送り込む必要があります。 だからこそ、私たち...

なぜクリーンルーム用のトロリーに赤外線を採用するのか？ スマートファクトリーを構築する際、従来の対流式加熱ではもはや不十分だと気づくでしょう。それは非効率的です。 私たちは最近、トロリー用ヒーターとして赤外線システムを採用しています。その理由は簡単です。赤外線は直接対象物を加熱するからです。部屋全...

ウェーハがリソグラフィーを通過すると、パッケージングラインのダイアタッチ工程へ進む。そこへの引き渡し前に、表面上のあらゆる水分を除去する必要がある。残留すると、アンダーフィル内のボイド、ボンド界面でのデラミネーション、あるいはインライン検査で検出されない潜在的な信頼性低下のリスクを負うことになる。...

ライン上では、温度は単なる数値ではなく、歩留まりとスクラップを分ける境界線である。ホットプレートの温度が0.5℃ずれるだけで、フォトレジストのソフトベークが規格外になる。ハードベークを数度高く設定すると、CDロスやスカミングが発生する。リソグラフィーおよびフォトレジスト処理は熱予算に対して許容がな...