晶圆加工设备用温度传感器

确保安全：化学晶圆清洗中的红外灯应用 在用化学试剂对晶圆进行清洗时，实际上就是在与易挥发、易燃的溶剂打交道。在这种环境下，普通的红外灯就不再只是个工具而已，而是一种潜在的危险源。哪怕有一点点火花或终端部位出现过热现象，都可能引发严重的爆炸事故。 为了解决这个问题，我们完全避免使用开放式红外灯，而是...