晶圆加工设备用温度传感器
确保安全:化学晶圆清洗中的红外灯应用 在用化学试剂对晶圆进行清洗时,实际上就是在与易挥发、易燃的溶剂打交道。在这种环境下,普通的红外灯就不再只是个工具而已,而是一种潜在的危险源。哪怕有一点点火花或终端部位出现过热现象,都可能引发严重的爆炸事故。
为了解决这个问题,我们完全避免使用开放式红外灯,而是...
氢气传感器制造用加热器
如何为氢气传感器提供合适的温度 如果您曾经尝试过制造氢气传感器,那么您就知道其中有多么困难。必须不断努力确保膜片完好无损,同时还要让催化剂能够牢牢附着在膜片上。这需要精确的平衡控制。
正因如此,我们选择了红外技术。红外技术的优势在于它不会使部件周围的空气变热,而是将能量精准地传递到所需的位置。这样...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
停止加热空气:一种更有效的MEMS晶圆干燥方法 如果你曾经参与过MEMS晶圆的制造过程,就会知道让晶圆完全干燥是多么困难的一件事。这需要找到一个平衡点——既要让晶圆彻底干燥且无残留物,又不能用过高的温度来加热,否则会导致晶圆变形。
大多数人会直接把晶圆放入普通的对流式烤箱中。但问题在于,这种烤箱会...
智能传感器封装红外线技术
别再让设备“被烤焦”了:一种更有效的半导体封装加热方式 你是否曾经触摸过半导体加工设备的外壳,结果感觉皮肤都被烫伤了呢?这是个常见问题。你试图为工件加热,但由于普通红外灯会向各个方向散发热量,因此设备外壳会吸收一半的能量。实际上,你花钱加热的其实是一个金属盒子,而非产品本身。
我们通过使用定向红外...
用于晶圆的精密红外传感器
引言
我们直接进入正题吧。我们生产的其实是红外加热灯,但并非普通的加热灯。这些可是精密工具,专为最复杂的加工任务而设计——即为半导体晶圆提供热量。
而这种工作环境极其危险:用于清洁晶圆的腔室里充满了容易引发火灾或爆炸的物质。因此,加热元件不仅要有足够的强度,还必须具备极高的安全性。
那么,我们究竟...