FOUP 前端开口式统一型托盘 干燥机

在光刻车间里，FOUP仍然带有上次清洗后残留的薄层水分。如果软烘烤过程的温度控制不准确，那么光阻层的厚度就会发生变化，从而在曝光开始之前就影响到关键尺寸的控制精度。因此，需要一种能够有效去除水分并保持温度稳定性的FOUP干燥装置——这样才能避免出现不确定因素。 关键所在 我们使用中波红外技术进行快...