如何保持100级洁净室的清洁状态
如果在100级洁净环境中对硅片进行加热处理，那么你肯定知道气体释放带来的麻烦。哪怕有一小块杂质或挥发性有机化合物存在，整个批次的产品都会变得毫无价值。这真是令人沮丧。
因此，我们不再使用普通的加热元件，而是采用高纯度的合成石英红外灯。
为什么选择石英？
金属外壳的加热元件会随着时间的推移而氧化或剥落，这在洁净室里简直就是灾难。而我们的熔融石英则非常纯净，能够有效防止金属离子的迁移。此外，这种加热方式是非接触式的——红外辐射直接作用于硅片表面，不会造成任何物理上的磨损。
“零污染”解决方案
我们彻底去除了所有可能产生污染的成分，没有粘合剂，也没有廉价聚合物——没有任何可能导致气体释放或颗粒产生的物质。所有的密封部分都具有化学惰性。
此外，我们还非常注重产品的热膨胀问题。这些管子即使在快速切换温度时也不会破裂。
不过有一点需要注意：当以最大功率运行时，这些设备会变得非常热。所以，务必确保你的真空或气流系统能够应对如此高的温度，否则设备的外壳可能会过热。
如何将它们融入现有生产流程
由于这些设备的体积很小，因此可以轻松安装在现有的加工腔室中。它们设计为可直接替代原有设备的部件，这样你就无需等待数小时才能继续生产。
由于我们使用了高纯度材料，因此不会像那些廉价产品那样出现玻璃表面模糊的情况。红外辐射的透过率可以长期保持稳定。
只要供电稳定且安静，就能让整个硅片获得一致的热处理效果。就这么简单。